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小型差壓變送器采用MEMS(Micro Electro-Mechanical System)技術和集成電路工藝,在單晶硅片的特定晶向上制成應變電阻構成的惠斯通檢測電橋,并利用硅的彈性力學特性,制作出集應力敏感與力電轉換檢測于一體的硅壓阻力敏元件。本系列產品以硅壓阻力敏元件為核心元件,并采用了無應力封裝及精密溫度補償技術,使得傳感器具有高的穩定性和可靠性,具有好的線性特性、好的重復性及遲滯性能,是應用廣泛的壓力傳感器。傳感器采用恒流源或恒壓源供電,當芯體接受被測絕對壓力信號,擴散硅芯片就會發生形變??涛g在擴散硅芯片上的惠斯通電橋也隨之發生變化,導致惠斯通電橋失去平衡,從而產生一個線性關系的電壓輸出信號。
一、產品概述
小型差壓變送器采用MEMS(Micro Electro-Mechanical System)技術和集成電路工藝,在單晶硅片的特定晶向上制成應變電阻構成的惠斯通檢測電橋,并利用硅的彈性力學特性,制作出集應力敏感與力電轉換檢測于一體的硅壓阻力敏元件。本系列產品以硅壓阻力敏元件為核心元件,并采用了無應力封裝及精密溫度補償技術,使得傳感器具有高的穩定性和可靠性,具有好的線性特性、好的重復性及遲滯性能,是應用廣泛的壓力傳感器。傳感器采用恒流源或恒壓源供電,當芯體接受被測絕對壓力信號,擴散硅芯片就會發生形變??涛g在擴散硅芯片上的惠斯通電橋也隨之發生變化,導致惠斯通電橋失去平衡,從而產生一個線性關系的電壓輸出信號。
小型差壓變送器以硅壓阻力敏元件為核心元件,并采用了無應力封裝及精密溫度補償技術,使得傳感器具有高的穩定性和可靠性,具有好的線性特性、好的重復性及遲滯性能,是應用廣泛的壓力傳感器
三、產品特點
*靈敏度及準確度高、可靠性穩定
*頻響高,溫度性能好
*抗電擊穿性能與耐腐蝕性好